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動態(tài)激光干涉儀是一種高精度的光學測量儀器,主要用于測量光學元件的表面形貌、材料的熱膨脹系數、機械應力場等。該儀器基于干涉原理,通過激光光束的干涉效應來實現對被測對象的測量和分析。它廣泛應用于工業(yè)生產、科學研究、醫(yī)學診斷等領域,具有高精度、快...
掩模對準光刻系統(tǒng)與我們的生活息息相關,我們用的手機,電腦等各種各樣的電子產品,里面的芯片制作離不開光科技束。如今的世界是一個信息社會,各種各樣的信息流在世界流動。而光刻系統(tǒng)是保證制造承載信息的載體。在社會上擁有不可替代的作用。光刻系統(tǒng)的技術原理:掩模對準光刻就是把芯片制作所需要的線路與功能區(qū)做出來。利用光刻機發(fā)出的光通過具有圖形的光罩對涂有光刻膠的薄片曝光,光刻膠見光后會發(fā)生性質變化,從而使光罩上得圖形復印到薄片上,從而使薄片具有電子線路圖的作用。這就是光刻的作用,類似照相機...
在過去的40年,我們發(fā)展成為隔振臺的供應商,并在此領域積累了豐富的經驗。與此同時,測量技術有了很大的進步,一些靈敏的設備會受被動式隔振臺中低頻共振頻率的干擾,只有主動式隔振臺能消除此類干擾。因此,我們在被動式隔振臺產品之外,補充了由瑞士TableStableLtd.開發(fā)的先進主動式隔振臺。隔振臺的描述:調整腳,焊接鋼框架。1、薄膜空氣彈簧BiAi產處于框架和需要隔振的平臺之間(垂直固有頻率2.3Hz)2、機械氣動定位控制(精度土1/lOOmm或土1/lOmm)特點:1、固有振...
Thetametrisis膜厚測量儀用于氧化釔(Y?O?)涂層厚度測量。它可快速準確地繪制大型氧化鋁陶瓷圓盤上的抗等離子涂層Y?O?層厚度。下面我們來看看用Thetametrisis膜厚測量儀測量氧化釔(Y?O?)涂層厚度的具體情況。Thetametrisis膜厚測量儀測量氧化釔(Y?O?)的案例分析:氧化釔(Y?O?)是一種非常有前景抗等離子涂層材料,且在集成電路中特征尺寸的持續(xù)減小應用在化學機械拋光后的高度平整工藝用作化學機械平面化(CMP)的磨料,具有獷泛的應用范圍。氧...
硅片厚度測量儀是采用紅外干涉技術的一款測量儀器。它能夠精確測量硅片厚度和測量TTV總厚度變化,也能實時測量超薄晶圓厚度(掩膜過程中的晶圓),硅片厚度測試儀非常適合晶圓的研磨、蝕刻、沉淀等厚度測量應用。硅片厚度測量儀具有突出優(yōu)勢,諸多材料例如Si、GaAs、InP、SiC、玻璃、石英以及其他聚合物在紅外光束下都是透明的,非常容易測量,標準的測量空間分辨率可達50微米,更小的測量點也可以做到。目前,儀器可廣泛用于MEMS、晶圓、電子器件、膜厚、激光打標雕刻等工序或器件的測量。該硅...
電容式位移傳感器基于平板電容原理。電容的兩極分別是傳感器和與之相對的被測物體。如果有穩(wěn)定交流電通過傳感器,輸出交流電的電壓會與傳感器到被測物體之間的距離成正比關系,從而可以通過測量電壓的變化得到距離信息。電容位移傳感器是一種非接觸電容式原理的精密測量儀器,具有一般非接觸式儀器所共有的無磨擦、無損磨特點外,還具有信噪比大,靈敏度高,零漂小,頻響寬,非線性小,精度穩(wěn)定性好,抗電磁干擾能力強和使用操作方便等優(yōu)點。實際應用當中電容式傳感器可以實現近乎的線性測量。但是,電容傳感器要求探...