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動態(tài)激光干涉儀是一種高精度的光學(xué)測量儀器,主要用于測量光學(xué)元件的表面形貌、材料的熱膨脹系數(shù)、機械應(yīng)力場等。該儀器基于干涉原理,通過激光光束的干涉效應(yīng)來實現(xiàn)對被測對象的測量和分析。它廣泛應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)、科學(xué)研究、醫(yī)學(xué)診斷等領(lǐng)域,具有高精度、快...
翹曲度測量儀是一種用于測量物體表面翹曲程度的設(shè)備。它可以被使用在各種不同的領(lǐng)域,如汽車工業(yè)、航空航天、建筑等等。然而,使用這種設(shè)備需要注意一些問題,以確保數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性和可靠性。首先,使用翹曲度測量儀時要確保其穩(wěn)定性。由于設(shè)備精度很高,所以即使是微小的移動或震動都會對測量結(jié)果產(chǎn)生影響。因此,在測量過程中應(yīng)盡可能避免人為的干擾,同時也要注意設(shè)備的放置位置,確保其與地面接觸良好,并遠離振動源。其次,使用者需要掌握正確的操作方式。翹曲度測量儀通常配有復(fù)雜的軟件和控制系統(tǒng),因此需要經(jīng)過...
隨著傳統(tǒng)的2D硅縮放達到其成本極限,半導(dǎo)體行業(yè)正在轉(zhuǎn)向異構(gòu)集成-將具有不同特征尺寸和材料的多個不同組件或管芯的制造,組裝和封裝到單個設(shè)備或封裝中,以提高性能,這就是混合鍵合技術(shù)。EVG是面向MEMS、納米技術(shù)和半導(dǎo)體市場的晶圓鍵合和光刻設(shè)備的供應(yīng)商,近期推出了EVG®320D2W裸片制備和活化系統(tǒng),這是業(yè)內(nèi)弟一個用于混合硅酸鹽管芯對晶片鍵合活化和清洗系統(tǒng)。晶圓鍵合系統(tǒng)集成了D2W鍵合所需的所有關(guān)鍵預(yù)處理模塊,包括清潔,等離子體活化,芯片對準(zhǔn)驗證和其他必要的計量工具,并...
電容式位移傳感器是一種廣泛應(yīng)用于機械加工、自動化控制和精密測量等領(lǐng)域的傳感器。它可以檢測物體的微小位移,并將其轉(zhuǎn)換為電信號輸出,具有高精度、高靈敏度、可重復(fù)性好等特點。電容式位移傳感器的工作原理基于電容的變化。當(dāng)兩個帶電電極之間有介質(zhì)隔開時,它們之間的電容量會受到介質(zhì)性能和電極間距離的影響而改變。因此,在該傳感器中,常采用平行板電容器的結(jié)構(gòu),將一個電極固定在底部的稱為靜電極,另一個電極固定在一個動態(tài)可移動的測量物體上,稱為運動極。當(dāng)測量物體發(fā)生微小的位移時,運動極的位置也會發(fā)...
電鏡隔振臺是一款緊湊型模塊化的主動隔振系統(tǒng),有利于為基礎(chǔ)研究、應(yīng)用研究、生產(chǎn)等領(lǐng)域所用精密儀器創(chuàng)造穩(wěn)定的測量環(huán)境。本產(chǎn)品可在寬頻率范圍內(nèi)進行隔振,為原子力顯微鏡、非接觸式表面輪廓儀、微型檢測設(shè)備等提供優(yōu)異的隔振性能。工作原理:安裝有測量和制造設(shè)備的地板或多或少會有振動。如果這些振動對設(shè)備造成不利影響,有效的解決方案則是使用隔振臺,以便營造適合該設(shè)備的條件。電鏡隔振臺使用電氣控制,通過對傳入振動施加反方向的力來立即消除振動。傳感器不斷監(jiān)測振動,并基于該信息,執(zhí)行器沿相反方向產(chǎn)生...
1.簡介光學(xué)光刻(Opticallithography),也稱為光學(xué)平版印刷術(shù)或紫外光刻,是在其他處理步驟(例如沉積,蝕刻,摻雜)之前用光刻膠對掩模和樣品進行構(gòu)圖的方法。2.設(shè)備(接近式光刻機)2.1HMDS及涂膠1)標(biāo)準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)工藝中包括HMDS蒸汽預(yù)處理2)烤箱-批量處理多個晶圓3)HMDS也可以在手動旋轉(zhuǎn)器上旋轉(zhuǎn)涂布4)涂膠機上進行光刻膠的涂布2.2對準(zhǔn)接觸光刻1)光刻前的對準(zhǔn)2)對準(zhǔn)器——處理具有對準(zhǔn)圖形的晶圓3)EVG610等掩模對準(zhǔn)機——尺寸從碎片到12”晶圓4)曝光...