你真的了解多波段橢偏儀嗎？它的光譜范圍是多少？

更新時(shí)間：2022-08-19 | 點(diǎn)擊率：1383

　　近年來(lái)，隨著儀器行業(yè)的不斷發(fā)展，多波段橢偏儀在市場(chǎng)上得到了快速地發(fā)展。由于其突出的表現(xiàn)，受到了廣泛用戶的青睞。目前本產(chǎn)品可以廣泛地應(yīng)用于半導(dǎo)體、通訊、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、光學(xué)鍍膜等領(lǐng)域中，下面我們就來(lái)具體的了解一下這款儀器！

　　它的光譜范圍：

　　最初，多波段橢偏儀的工作波長(zhǎng)多為單一波長(zhǎng)或少數(shù)獨(dú)立的波長(zhǎng)，較典型的是采用激光或?qū)﹄娀〉葟?qiáng)光譜光進(jìn)行濾光產(chǎn)生的單色光源。大多數(shù)的橢偏儀在很寬的波長(zhǎng)范圍內(nèi)以多波段工作。它和單波段的橢偏儀相比，多波段橢偏儀可以提升多層探測(cè)能力，可以測(cè)試物質(zhì)對(duì)不同波長(zhǎng)光波的折射率等。

　　多波段橢偏儀的光譜范圍在深紫外的142nm到紅外33um可選。光譜范圍的選擇取決于被測(cè)材料的屬性、薄膜厚度及關(guān)心的光譜段等因素。例如，摻雜濃度對(duì)材料紅外光學(xué)屬性有很大的影響，因此需要能測(cè)量紅外波段的多波段橢偏儀；薄膜的厚度測(cè)量需要光能穿透這薄膜，到達(dá)基底，然后并被探測(cè)器檢測(cè)到，因此需要選用該待測(cè)材料透明或部分透明的光譜段；對(duì)于厚的薄膜選取長(zhǎng)波長(zhǎng)更有利于測(cè)量。

　　它的應(yīng)用領(lǐng)域：

　　目前，多波段橢偏儀可應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、MEMS、通訊、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、光學(xué)鍍膜、平板顯示器、科學(xué)研究、物理、化學(xué)、生物、醫(yī)藥…等眾多領(lǐng)域中；同時(shí)，本儀器還可以檢測(cè)介電材料、有機(jī)高分子聚合物、金屬氧化物、金屬鈍化膜、自組裝單分子層、多層膜物質(zhì)和石墨烯等眾多材料。

　　多波段橢偏儀有如下特點(diǎn)：

　　1.對(duì)材料的光學(xué)常數(shù)的測(cè)量更精確：這是由激光的窄帶單色性質(zhì)決定的，激光帶寬通常遠(yuǎn)小于1nm，因此能夠更準(zhǔn)確地獲得激光波長(zhǎng)下的材料的材料參數(shù)。

　　2.可對(duì)動(dòng)態(tài)過(guò)程進(jìn)行快速測(cè)量：激光良好的方向性使得其強(qiáng)度非常高，因此非常適合對(duì)動(dòng)態(tài)過(guò)程的實(shí)時(shí)測(cè)量。

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